Оборудование для ориентации полупроводниковых пластин
Московский институт стали и сплавов ( технологический университет) кафедра полупроводниковой электроники и физики полупроводников Домашнее задание Тема Оборудование для ориентации полупроводниковых пластин. Выполнил студент группы К3-01-2 Гашников Г.Э. Руководитель доцент Курносов А.И. Москва 2003 год Введение Производство полупроводниковых приборов использует самые малые размеры деталей приборов и их высокую точность. Следовательно, для массового производства полупроводниковых приборов